ASML

ASML Holding N.V. ⓘ

Der Hauptsitz von ASML in Veldhoven
Typ	Naamloze vennootschap
Gehandelt als	Euronext Amsterdam: ASML Nasdaq: ASML Nasdaq-100 Bestandteil AEX-Komponente
Industrie	Halbleiterindustrie
Gegründet	1984; vor 39 Jahren
Hauptsitz	Veldhoven, Niederlande
Wichtige Personen	Peter Wennink (Vorstandsvorsitzender) Gerard Kleisterlee (Vorsitzender des Aufsichtsrates)
Produkte	Fotolithografiesysteme für die Halbleiterindustrie
Umsatz	18,61 Milliarden Euro (2021)
Nettoergebnis	5,88 Milliarden Euro (2021)
Bilanzsumme	30,23 Mrd. € (2021)
Gesamtes Eigenkapital	10,14 Mrd. € (2021)
Anzahl der Mitarbeiter	32.016 (Dezember 2021)
Website	www.asml.com
Fußnoten / Referenzen >14.000 Patente (2021)

ASML Holding N.V. (üblicherweise abgekürzt mit ASML und ursprünglich für "Advanced Semiconductor Materials Lithography" stehend) ist ein niederländischer multinationaler Konzern, der 1984 gegründet wurde und sich auf die Entwicklung und Herstellung von Fotolithografiesystemen spezialisiert hat, die zur Herstellung von Computerchips verwendet werden. Derzeit ist es der größte Anbieter von Fotolithografiesystemen vor allem für die Halbleiterindustrie und der einzige Anbieter von EUV-Fotolithografieanlagen weltweit. ASML beschäftigt mehr als 31.000 Mitarbeiter aus 120 Ländern, stützt sich auf ein umfangreiches Netz von mehr als 4.600 Tier-1-Zulieferern und hat Niederlassungen in den Niederlanden, den Vereinigten Staaten, Belgien, Frankreich, Deutschland, Irland, Israel, Italien, dem Vereinigten Königreich, China, Hongkong, Japan, Malaysia, Singapur, Südkorea und Taiwan. ⓘ

Hauptsitz von ASML in Veldhoven ⓘ

Der Hauptsitz von ASML befindet sich in Veldhoven in den Niederlanden. Dort befinden sich auch die Forschungs- und Entwicklungsabteilung sowie die Montage unter Reinraum-Bedingungen. ⓘ

Produkte

Die von ASML hergestellten Fotolithografie-Maschinen werden für die Herstellung von Computerchips verwendet. In diesen Maschinen werden Muster optisch auf einen Silizium-Wafer abgebildet, der mit einem Film aus lichtempfindlichem Material (Photoresist) bedeckt ist. Dieser Vorgang wird Dutzende Male auf einem einzigen Wafer wiederholt. Der Fotolack wird dann weiterverarbeitet, um die eigentlichen elektronischen Schaltungen auf dem Silizium zu erzeugen. Die optische Abbildung, mit der sich die Maschinen von ASML befassen, wird bei der Herstellung fast aller integrierten Schaltkreise verwendet. 2010 hatte ASML einen Anteil von 67 Prozent am weltweiten Absatz von Lithografiemaschinen, während die Konkurrenz aus Ultratech, Canon und Nikon bestand. ⓘ

Immersionslithografie

Die Immersionslithografie wurde von Burn-Jeng Lin entwickelt, und ASML arbeitet seither mit Taiwan Semiconductor Manufacturing (TSMC) zusammen. TSMC begann 2004 mit der kommerziellen Produktion von 90-Nanometer-Halbleiterknoten unter Verwendung der ASML-Immersionslithografie. Seit 2011 wird das High-End-System TWINSCAN NXT:1950i für die Herstellung von Merkmalen bis zu 32 Nanometern (mit Aussicht auf 22 nm) bei bis zu 200 Wafern pro Stunde verwendet, wobei eine Wasserimmersionslinse und ein Argonfluoridlaser mit einer Wellenlänge von 193 nm zum Einsatz kommen. Im Jahr 2011 kostete eine durchschnittliche Lithografieanlage 27 Millionen Euro. ⓘ

EUV-Lithografie

ASML stellt Lithografieanlagen für extremes Ultraviolett her, die Licht im Wellenlängenbereich von 13,3-13,7 nm erzeugen. Ein Hochenergielaser wird auf mikroskopisch kleine Tröpfchen geschmolzenen Zinns gerichtet, um ein Plasma zu erzeugen, das EUV-Licht aussendet. ⓘ

Im Jahr 2009 produzierte das IMEC-Forschungszentrum in Belgien die weltweit ersten funktionsfähigen 22-nm-CMOS-SRAM-Speicherzellen mit einem Prototyp einer EUV-Lithografieanlage. Serienmäßig hergestellte (nicht prototypische) EUV-Maschinen wurden 2011 ausgeliefert. ⓘ

Andere

Neben der immersionsbasierten Lithografie und der EUV-Lithografie verfügt ASML über ein umfangreiches Portfolio an geistigem Eigentum im Bereich der Imprint-Lithografie. ⓘ

Unternehmen

Die Unternehmenszentrale von ASML befindet sich in Veldhoven, Niederlande. Hier befinden sich auch die Bereiche Forschung, Entwicklung, Fertigung und Montage. ASML hat einen weltweiten Kundenstamm und mehr als sechzig Servicestellen in sechzehn Ländern. Das Unternehmen ist sowohl an der AEX- als auch an der NASDAQ-Börse unter dem Namen ASML notiert. Außerdem ist es Bestandteil des Euro Stoxx 50 und des NASDAQ-100. ⓘ

Das Unternehmen (ursprünglich ASM Lithography, heute ASML, was eine offizielle Bezeichnung und keine Abkürzung ist) wurde 1984 als Joint Venture zwischen den niederländischen Unternehmen Advanced Semiconductor Materials International (ASMI) und Philips gegründet. Heute ist es ein öffentliches Unternehmen, bei dem Philips nur eine Minderheit der Anteile hält, etwa 25 %. Als das Unternehmen 1988 unabhängig wurde, entschied man, dass eine Änderung des Namens nicht wünschenswert sei, und die Abkürzung ASML wurde zum offiziellen Firmennamen. ⓘ

Im Jahr 2000 erwarb ASML die Silicon Valley Group (SVG), einen US-amerikanischen Hersteller von Lithografieanlagen, um 193-nm-Scanner an Intel Corp. zu liefern. ⓘ

ASML unterliegt einer zyklischen industriellen Dynamik. So erlebte ASML Ende 2008 einen starken Umsatzrückgang, der die Unternehmensleitung dazu veranlasste, weltweit etwa 1.000 Stellen zu streichen - größtenteils Leiharbeiter - und Unterstützung aus dem nationalen niederländischen Arbeitslosenfonds zu beantragen, um noch größere Entlassungen zu verhindern. Zweieinhalb Jahre später erwartete ASML einen rekordverdächtigen Umsatz. ⓘ

Im Juli 2012 kündigte Intel an, 4,1 Milliarden Dollar in ASML zu investieren und dafür 15 % der Anteile zu erhalten, um den Übergang von 300-mm- zu 450-mm-Wafern und die Weiterentwicklung der EUV-Lithografie zu beschleunigen. Dieser Deal ist ohne Exklusivrechte für zukünftige ASML-Produkte, und ab Juli 2012 bietet ASML weitere 10 % der Anteile anderen Unternehmen an. Im Rahmen seiner EUV-Strategie kündigte ASML im Oktober 2012 die Übernahme des DUV- und EUV-Quellenherstellers Cymer an. ⓘ

Im November 2013 pausierte ASML die Entwicklung von 450-mm-Lithografieanlagen mit der Begründung, dass der Zeitpunkt der Nachfrage der Chiphersteller unsicher sei. ⓘ

2015 wurde ASML Opfer eines Diebstahls von geistigem Eigentum. Eine Reihe von Mitarbeitern wurde beim Diebstahl vertraulicher Daten aus der Software-Tochtergesellschaft im Silicon Valley, die Software für die Maschinenoptimierung entwickelt, erwischt. ⓘ

Im Juni 2016 gab ASML seine Pläne bekannt, das in Taiwan ansässige Unternehmen Hermes Microvision Inc. für rund 3,1 Milliarden US-Dollar zu übernehmen, um seine Technologie zur Herstellung kleinerer und fortschrittlicherer Halbleiter zu erweitern. ⓘ

Im November 2020 gab ASML bekannt, dass das Unternehmen die deutsche Berliner Glas Gruppe übernommen hat, um den steigenden Bedarf an Komponenten für seine EUV-Systeme zu decken. ⓘ

Nach der Bekanntgabe der Ergebnisse im Juli 2021 gab das Unternehmen bekannt, dass es ein Beinahe-Monopol für Maschinen hat, die von TSMC und Samsung Electronics für die Herstellung fortschrittlicher Chips verwendet werden. Die Elektronikhersteller verwenden EUV-Lithographieanlagen für die Herstellung der neuesten Chipgenerationen. ⓘ

Finanzen

Finanzdaten in Mrd. €

Jahr	2013	2014	2015	2016	2017	2018	2019	2020	2021 ⓘ
Umsatz	5.245	5.856	6.287	6.795	9.053	10.944	11.820	13.979	18.611
Nettoeinkommen	1.016	1.197	1.387	1.472	2.119	2.592	2.592	3.554	5.883
Vermögen	11.514	12.204	13.295	17.206	18.196	20.137	22.630	27.267	30.231
Mitarbeiter	10,360	11,318	12,168	13,991	16,219	20,044	23,219	26,614	29,861

Geschichte

Strategische Relevanz

2021 gab ASML bekannt, weitere Ausstattung zur fortschrittlichen EUV-Lithografie an die chinesische Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC) verkaufen zu wollen, sofern die zuständigen Behörden dies zuließen. Das US-Handelsministerium verdächtigt SMIC, Wissenstransfer in militärnahe Unternehmungen zu betreiben und will deshalb auf den Abbruch der Vereinbarung hinwirken. Wenige Tage zuvor war die Schließung des chinesischen Halbleiterherstellers HSMC bekannt geworden, was eine Abhängigkeit von der taiwanesischen TSMC bedeutet hätte. Auch die geostrategische Bedeutung ASMLs wird durch seine Technologieführerschaft verstärkt diskutiert. ⓘ

Markt

Die wichtigsten Wettbewerber auf dem Markt der Lithographiesysteme für die Halbleiterindustrie sind Canon, Nikon sowie die seit 2017 zu Veeco gehörende Ultratech. 2017 hat ASML als derzeit einziger Anbieter überhaupt die ersten zwölf EUV-Maschinen an Kunden ausgeliefert. Jede Maschine hat dabei ca. die Größe eines Busses, benötigt drei Boeing 747 für die Auslieferung und kostet ca. 150 Mio. Euro. ⓘ