Datei:Schematic drawing of tuning fork gyroscope.png

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Schematic_drawing_of_tuning_fork_gyroscope.png(584 × 338 Pixel, Dateigröße: 181 KB, MIME-Typ: image/png)

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Beschreibung

Beschreibung
English: Schematic drawing of a proposed freestanding tuning fork gyroscope: (1) outer frame, (2) inner frame, (3) driving comb electrodes, (4) parallel plate sense electrode, (5) double folded beams, (6) anchors, (7) linear beams and (8) self-rotation ring.
Datum
Quelle "Z-Axis Micromachined Tuning Fork Gyroscope with Low Air Damping", Micromachines 2017, 8(2), 42; doi:10.3390/mi8020042 (Fig. 1)
Urheber Minh Ngoc Nguyen et al.

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